沉積方案 | 電化學沉積 (ECD) 面板

面板電鍍 - Stratus? P500

ECD 510 x 515 mm 面板加工

應用

• 可配置多達 5 種不同的電鍍材料

• 多晶扇出

• SoC 封裝

• MicroLED

特點

• 晶圓級精度硬件和軟件

• Cu、Sn(Ag)、Ni 和 Au 電鍍 @<10μm L/S

• 單面 / 雙面電鍍

• 膜電池提供高化學利用率

• 多區陽極，優化厚片和薄片的均勻性

• 帶圖案的屏蔽層可實現均勻的高通量電鍍

材料

• 510×515 mm 面板, 定制

• 玻璃、復合材料、其他